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.二氧化硅光波導(dǎo)的制作工藝玻璃光波導(dǎo)的制作工藝如所示，整個(gè)工藝分為五步：1)在玻璃基片上濺射一層鋁，作為離子交換時(shí)的掩模層，如（b）所示；2)進(jìn)行光刻，將需要的波導(dǎo)圖形用光刻膠保護(hù)起來，如（c）所示；3)采用化學(xué)腐蝕，將波導(dǎo)上部的鋁膜去掉，如（d）所示；4)將做好掩模的玻璃基片放入含Ag+－Na+離子的混合溶液中，在適當(dāng)?shù)臏囟认逻M(jìn)行離子交換，如（e）所示，Ag+離子提升折射率，得到如（f）所示的溝道型光波導(dǎo)；5)對溝道型光波導(dǎo)施以電場，將Ag+離子驅(qū)向玻璃基片深處，得到掩埋型玻璃光波導(dǎo)，如（g）所示。松滋耐火光纜多少錢,2芯光纜廠家
.玻璃光波導(dǎo)的制作工藝3.平面光波導(dǎo)的應(yīng)用鈮酸鋰晶體具有良好的電光特性，在電光調(diào)制器中應(yīng)用廣泛。
InP材料既可以制作光有源器件又可以制作光無源器件，被視為光有源/無源器件集成的最好平臺(tái)。
SOI材料在MEMS器件中應(yīng)用廣泛，是光波導(dǎo)與MEMS混合集成的優(yōu)良平臺(tái)。
聚合物波導(dǎo)的熱光系數(shù)是SiO2的32倍，應(yīng)用在需要熱光調(diào)制的動(dòng)態(tài)器件中，可以大大降低器件功耗。
